拋光速率對平面拋光機的重要性，平面拋光機操作的關鍵是要設法得到最大的拋光速率，以便盡快除去磨光時產生的損傷層。同時也要使拋光損傷層不會影響最終觀察到的組織，即不會造成假組織。

前者(zhe)要求(qiu)使(shi)用(yong)(yong)較(jiao)粗(cu)(cu)(cu)的(de)磨料，以(yi)保證有較(jiao)大(da)的(de)拋(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)速(su)率來去(qu)除(chu)磨光(guang)(guang)(guang)的(de)損傷(shang)(shang)層(ceng)，但拋(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)損傷(shang)(shang)層(ceng)也較(jiao)深；后者(zhe)要求(qiu)使(shi)用(yong)(yong)最(zui)細的(de)材(cai)料，使(shi)拋(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)損傷(shang)(shang)層(ceng)較(jiao)淺，但拋(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)速(su)率低。 解決這個(ge)矛(mao)盾的(de)最(zui)好的(de)辦法就是采用(yong)(yong)自動拋(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)設(she)備。粗(cu)(cu)(cu)拋(pao)(pao)(pao)目的(de)是去(qu)除(chu)磨光(guang)(guang)(guang)損傷(shang)(shang)層(ceng)，這一階段應具(ju)有最(zui)大(da)的(de)拋(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)速(su)率，粗(cu)(cu)(cu)拋(pao)(pao)(pao)形成的(de)表(biao)層(ceng)損傷(shang)(shang)是次(ci)要的(de)考慮，不過也應當盡可能小；其次(ci)是精拋(pao)(pao)(pao)(或稱終拋(pao)(pao)(pao))，其目的(de)是去(qu)除(chu)粗(cu)(cu)(cu)拋(pao)(pao)(pao)產(chan)生的(de)表(biao)層(ceng)損傷(shang)(shang)，使(shi)拋(pao)(pao)(pao)光(guang)(guang)(guang)損傷(shang)(shang)減到最(zui)小。